電子/聲波顯微鏡
電子顯微鏡是現代材料科學的主要分析設備，本中心配備了透射電鏡、掃描電鏡、原子力顯微鏡等多種設備。此外本中心還擁有超聲波顯微鏡可以觀測材料内部不同區域對聲波的反射，從而研究材料特性。
透射電鏡
 日本電子JEM-ARM200F |
掃描電鏡
 日立SU8010 |
 日立S-4800 |
能譜儀
 日立IXRF |
 日立S-4800 |
掃描探針顯微鏡
 布魯克LT-STM-AFM&XPS |
 Bruker Multimode 8 |
聲波顯微鏡
Sonix IncECHO-LS |
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球差矯正透射電鏡返回目錄 |
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| 品牌型号 | 日本電子JEM-ARM200F |
| 儀器價格 | 14313102.4 |
| 安裝年月 | 2016/11/01 |
| 存放地點 | 東校區化學材料大樓, 負一層A010 |
| 聯系人 | 宋海利 |
| 聯系方式 | songhli@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 功能無機 |
| 儀器編号 | 2018004811預約網址 |
| 主要參數 u 分辨率：掃描透射像：0.08nm（加速電壓200kV） 透射像：0.19nm（加速電壓200kV） 能譜儀能量分辨率：136 eV (Mn-Kα) u 加速電壓：80, 200kV |
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| 主要功能 獲取透射電子高分辨像，選區電子衍射花樣，掃描透射原子像（環形高角暗場像和明場像），能量分散譜 |
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| 主要附件 oneview相機，能譜儀 |
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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡SU8010返回目錄 |
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| 品牌型号 | 日立SU8010 |
| 儀器價格 | 2526894 |
| 安裝年月 | 2015/09/17 |
| 存放地點 | 廣州校區東校園化材樓, 負一層A003 |
| 聯系人 | 範雅楠 |
| 聯系方式 | fanyanan@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | LIFM |
| 儀器編号 | 20168145預約網址 |
| 主要參數 二次電子分辨率： 1.0 nm (加速電壓 15 kV、WD=4 mm) 1.3 nm (着陸電壓 1 kV、WD=1.5 mm) 放大倍數： 低倍模式，20~2,000×（照片倍率） 80~5,000×（實際顯示倍率） 高倍模式，100~800,000×（照片倍率） 400~2,000,000×（實際顯示倍率） 電子光學： 電子槍 冷陰極場發射電子槍 加速電壓 0.5 ~30 kV（标準模式） 着落電壓 0.1~2.0 kV (減速模式) 透鏡系統 3級電磁透鏡 物鏡光闌 可動光闌（加熱型），真空外4孔轉換機微調 消象散 8級電磁模式（X、Y） 掃描線圈 2級電磁偏轉模式 |
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| 主要功能 二次電子模式 背散射電子模式 |
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| 主要附件 無 |
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冷場發射掃描電鏡返回目錄 |
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| 品牌型号 | 日立S-4800 |
| 儀器價格 | ￥2,512,111.01 |
| 安裝年月 | 2009/01/01 |
| 存放地點 | 廣州校區東校園化材樓, 負一層 |
| 聯系人 | 曾春蓮 |
| 聯系方式 | ceszcl@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 聚合物平台 |
| 儀器編号 | 20105084預約網址 |
| 主要參數 1、分辨率：1.0nm (15kV)，2.0nm (1kV)，1.4nm(1KV，入射電子減速功能) 2、标稱放大倍率：×25 ~ ×800,000，有效放大倍數×300 ~ ×200,000 3、加速電壓：0.1 ~ 30kV 4、束流強度：1pA~2nA 5、能譜分辨率/有效面積：不低于133eV/10mm2 6、分析元素範圍：Be4-U92，具有點、線、面分析功能 |
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| 主要功能 主要用于金屬材料、非金屬材料、納米材料、半導體材料與器件等方向的研究。可以進行樣品表面形貌的二次電子像、背散射電子像觀察，配有能譜分析儀，可進行元素的定性和半定量分析。 |
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| 主要附件 X射線能譜儀： 分辨率/有效面積：不低于133eV/10mm2 分析元素範圍：Be4-U92 具有點分析、線分析、面分析功能,具有譜圖匹配和譜圖合成功能。 |
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掃描電鏡能譜儀返回目錄 |
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| 品牌型号 | 日立IXRF |
| 儀器價格 | 150000 |
| 安裝年月 | 2015/09/17 |
| 存放地點 | 廣州校區東校園化材樓, 負一層A003 |
| 聯系人 | 範雅楠 |
| 聯系方式 | fanyanan@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | LIFM |
| 儀器編号 | 預約網址 |
| 主要參數 分辨率：優于133eV，具有點、線、面分析功能。 |
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| 主要功能 EDS測試（與掃描電鏡SU8010同步測試，不單獨測試） |
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| 主要附件 無 |
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掃描能譜儀 (NEW)返回目錄 |
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| 品牌型号 | 日立S-4800 |
| 儀器價格 | 0 |
| 安裝年月 | 2023/07/01 |
| 存放地點 | - |
| 聯系人 | 曾春蓮 |
| 聯系方式 | ceszcl@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 聚合物平台 |
| 儀器編号 | 預約網址 |
| 主要參數 | |
| 主要功能 | |
| 主要附件 | |
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超高真空原子力掃描探針系統返回目錄 |
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| 品牌型号 | 布魯克LT-STM-AFM&XPS |
| 儀器價格 | 5861469.6 |
| 安裝年月 | 2020/03/01 |
| 存放地點 | 廣州校區東校園化材樓, 負一層 |
| 聯系人 | 宋海利 |
| 聯系方式 | songhli@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 功能無機 |
| 儀器編号 | 2019022788預約網址 |
| 主要參數 橫向分辨率達到0.1nm，縱向分辨率可達0.01nm |
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| 主要功能 觀察樣品表面原子分辨率的結構信息，直接觀測單個分子及其分子之間的鍵合力。 |
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| 主要附件 XPS |
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掃描探針顯微鏡（Bruker）返回目錄 |
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| 品牌型号 | Bruker Multimode 8 |
| 儀器價格 | 2115808 |
| 安裝年月 | 2016/10/01 |
| 存放地點 | 廣州校區東校園化材樓, 負一層 |
| 聯系人 | 黃愛萍 |
| 聯系方式 | ceshap@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 聚合物平台（材） |
| 儀器編号 | 20134749預約網址 |
| 主要參數 1. 形貌分辨能力 XY：0.2nm, Z： 0.01nm（可實現原子級分辨）； XY 掃描電壓/分辨率：±200V/48 bit，Z軸掃描電壓/分辨率：±200V/48bit； |
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| 主要功能 輕敲模式成像、接觸模式成像、ScanAsyst成像、力曲線、磁力成像、導電TUNA等。 |
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| 主要附件 | |
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超聲波掃描顯微鏡返回目錄 |
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| 品牌型号 | Sonix IncECHO-LS |
| 儀器價格 | 859708 |
| 安裝年月 | 2013/11/01 |
| 存放地點 | 廣州校區東校園化材樓, A117 |
| 聯系人 | 黃愛萍 |
| 聯系方式 | ceshap@mail.sysu.edu.cn |
| 分平台 | 功能無機 |
| 儀器編号 | 20147074預約網址 |
| 主要參數 LS1..X/Y軸有效掃描範圍不小于310mmX310mm，Z軸移動範圍大于50mm； 2．可用檢測模式：包括反射式掃描（A掃描，B掃描，C掃描，TAMI掃描）、 透射式掃描（T掃描）和三維立體成像； 3．最大掃描速度為1000mm/s； 4．适用于5－300兆赫茲的傳感器； 5．圖像像素6千萬像素以上； 6．保存圖像格式為TIFF、PCX、JPG和BMP等。 |
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| 主要功能 1.工作原理: 利用波的折射及反射原理檢驗産品内部是否有裂痕、分層、氣泡等缺陷。 儀器發射一個超聲波信号至樣品，若樣品内部結構勻均,則儀器接受到的反射及折射信号組成一個完整的樣品形态，若樣品内部有缺陷則折射信号減弱，顯示出産品顔色差異。 2.主要功能: 儀器可給樣品提供各種超高頻的可分析圖像，為産品或材料在無損的情形下進行内部缺陷的查找，或對材料内部均勻性進行判别，廣泛 應用于實驗室的新材料開發研究工作，以及半導體工廠的大規模生産的産品在線檢驗。 3.用 途: (1).材料領域：陶瓷、玻璃、金屬、粉末金屬、塑料、複合物； (2).微電子學領域：塑料封裝IC、陶瓷電容器、模片固定、載芯片闆（COB）、芯片型封裝（CSP）、倒裝晶片、堆疊型封裝、卷帶式自 動接合（TAB）、混和技術、MCM、SIP、柔性電路、印刷電路闆（PCB）、智能卡、粘結晶片、IMEMS； (3).微電子機械系統 (MEMS)：制造工藝評估、包裝； (4).軍事/航空/汽車：高可靠性資格篩選、産品升級篩選、資格篩選。 |
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| 主要附件 無 |
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